Растровые электронные микроскопы серии EVO (Zeiss, Германия)
Описание
Растровые электронные микроскопы EVO MA
Все микроскопы серии EVO в своей конструкции использую передовые технологии TTL и BeamSleeve, что позволяет получать несравнимо лучшее качество изображения в режиме переменного давления (VP).
Три модификации микроскопа EVO MA
EVO MA 10 предпочитает большинство пользователей при анализе материалов. Большой 5 осевой столик, режим низкого вакуума в стандартной комплектации, множество дополнительных аксессуаров и удобное программное обеспечение SmartSEM делает EVO MA 10 прекрасным решением для современного анализа материалов.
EVO MA 15 предпочтителен при решении материаловедческих аналитических задач для исследования более тяжелых и крупных образцов. Прикладные области - геология, судебная экспертиза и анализ дефектов.
EVO MA 25 является предпочтительным для тех пользователей, которые исследуют очень крупные и тяжелые образцы. EVO MA 25 имеет более высокую камеру, которая в состоянии вместить в себя образцы больше чем 200 мм высотой. Прикладные области - судебная экспертиза, музейные экспонаты, производство автомобилей, космос, ЖК экраны и печатные платы.
Растровые электронные микроскопы EVO HD MA
EVO HD MA обеспечивает инновационное улучшение разрешение по сравнению с обычными растровыми микроскопами. EVO с технологией улучшенного разрешения HD значительно опережает все растровые электронные микроскопы своего класса. Непревзойденное разрешение при низких ускоряющих напряжениях делает EVO HD безальтернативным выбором для исследования чувствительных к электронному лучу образцов. Технология HD обеспечивает высокую точность количественного анализа при низком вакууме, требуемую в широком диапазоне различных исследований.
Серия микроскопов EVO HD MA доступна в трех вариантах (10, 15, 25) , различный размер камеры микроскопа в зависимости от требований аналитической лаборатории. EVO HD MA демонстрирует превосходную гибкость платформы EVO при анализе различных материалов с максимально лучшим разрешением и качеством изображения.
Серия микроскопов EVO HD MA обеспечивает 40 - 100 кратное увеличение яркости обычного вольфрамового источника и позволяет улучшить более чем в два раза разрешение микроскопа при ускоряющем напряжении 1 кВ.
Технические характеристики
Технические характеристики растровых электронных микроскопов EVO MA
| Разрешение | 3 нм (2нм) | @ 30 кВ, SE, W (LaB6) | |
| 4.5 нм | @ 30 кВ, BSD (VP режим) | ||
| 15 нм | @ 30 кВ, 1нА, LaB6 | ||
| 20 нм (15 нм) | @ 1 кВ, SE, W (LaB6) | ||
| 10 нм | @ 3 кВ, SE | ||
| Ускоряющее напряжение | 0.2 – 30 кВ | ||
| Увеличение | EVO MA10 и LS10 | EVO MA15+25 и LS15+25 | |
| < 7 – 1 000 000x | < 5 – 1 000 000x | ||
| Размер поля зрения | 6 мм на аналитическом рабочем отрезке (AWD) | ||
| X-ray анализ | 8.5 мм AWD и 35 градусах наклона детектора | ||
| Режимы OptiBeam ® | Разрешение, анализ, глубина резкости, поле, «рыбий глаз» | ||
| Диапазон давления | 10 – 400 Па (серия MA) | ||
| 10 – 3000 Па (серия LS) | |||
| Доступные детекторы | BSD – детектор обратнорассеяных электронов | ||
| ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли | |||
| VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима | |||
| EPSE – детектор вторичных электронов для EP режима | |||
| SCD – измеритель тока через образец | |||
| STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим) | |||
| CL –катодолюминесцентный детектор | |||
| Камера образца | EVO MA10 и LS10 | EVO MA15 и LS15 | EVO MA25 и LS25 |
| 310мм(Ø) x 220мм(h) | 365мм(Ø) x 275мм(h) | 420мм(Ø) x 330мм(h) | |
| 5-ти осевой моторизованный столик образца | EVO MA10 и LS10 | EVO MA15 и LS15 | EVO MA25 и LS25 |
| X = 80 мм, Y = 100 мм, | X = 125 мм, Y = 125 мм, | X = 130 мм, Y = 130 мм, | |
| Z = 35 мм, T =-10 ° +90º, | Z = 50 мм, T = -10° + 90º, | Z = 50 мм, T = -10° +90º, | |
| R = 360º (непрерывно) | R = 360º (непрерывно) | R = 360º (непрерывно) | |
| Управление мышью | Управление мышью | Управление мышью | |
| или дополнительным джойстиком и | или дополнительным джойстиком и | или дополнительным джойстиком и | |
| с панели управления | с панели управления | с панели управления | |
| Максимальная высота образца | EVO MA10 и LS10 | EVO MA15 и LS15 | EVO MA25 и LS25 |
| 100мм | 145мм | 210мм | |
| Возможные модификации | BeamSleeve®, режим расширенного давления (EP), напуск паров воды в камеру | ||
| Размер изображения | 3072 x 2304 точек, режим однократного накопления и непрерывного отображения | ||
| Система управления | SmartSEM® GUI управление мышью и клавиатурой | ||
| Windows® XP мультиязычная операционная система | |||
| Дополнительная информация | Питание: 100 – 240 В, 50 или 60 Гц одна фаза, охлаждение воздушное | ||
Технические характеристики EVO HD15 и HD25
| Разрешение | 1.9 нм |
@ 30 кВ, SE |
| 3 нм | @ 30 кВ, SE (VP режим) | |
| 10 нм | @ 30 кВ, 1нА | |
| 5 нм | @ 3 кВ, SE | |
| 8 нм | @ 1 кВ, SE | |
| Ускоряющее напряжение | 0.2 – 30 кВ | |
| Увеличение | < 5 – 1 000 000x | |
| Размер поля зрения | 6 мм на аналитическом рабочем отрезке (AWD) | |
| X-ray анализ | 8.5 мм AWD и 35 градусах наклона детектора | |
| Режимы OptiBeam ® | Разрешение, анализ, глубина резкости, поле, «рыбий глаз» | |
| Диапазон давления | 10 – 400 Па (конфигурация MA) | |
| 10 – 3000 Па (конфигурация LS) | ||
| Доступные детекторы | BSD – детектор обратнорассеяных электронов | |
| ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли | ||
| VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима | ||
| EPSE – детектор вторичных электронов для EP режима | ||
| SCD – измеритель тока через образец | ||
| STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим) | ||
| CL –катодолюминесцентный детектор | ||
| Камера образца | EVO HD15 | EVO HD25 |
| 365мм(Ø) x 275мм(h) | 420мм(Ø) x 330мм(h) | |
| 5-ти осевой моторизованный столик образца | EVO HD15 | EVO HD25 |
| X = 125 мм, Y = 125 мм, | X = 130 мм, Y = 130 мм, | |
| Z = 50 мм, T =-10 ° +90º, | Z = 50 мм, T = -10° +90º, | |
| R = 360º (непрерывно) | R = 360º (непрерывно) | |
| Управление мышью | Управление мышью | |
| или дополнительным джойстиком и | или дополнительным джойстиком и | |
| с панели управления | с панели управления | |
| Максимальная высота образца | EVO HD15 | EVO HD25 |
| 145 мм | 210 мм | |
| Возможные модификации | BeamSleeve®, режим расширенного давления (EP), напуск паров воды в камеру | |
| Размер изображения | 3072 x 2304 точек, режим однократного накопления и непрерывного отображения | |
| Система управления | SmartSEM® GUI управление мышью и клавиатурой | |
| Windows® XP мультиязычная операционная система | ||
| Дополнительная информация | Питание: 100 – 240 В, 50 или 60 Гц одна фаза, охлаждение воздушное | |
Применения
Машиностроение
Приборостроение
Металлообработка
Геология
Микроэлектроника
Исследовательские институты (НИИ)
Реставрационная деятельность
Атомная энергетика
Криминалистика
