Автоэмиссионный СЭМ SIGMA (Zeiss, Германия)
Описание
Благодаря колонне с технологией GEMINI со встроенным в линзовую систему детектором вторичных электронов, ΣIGMA обеспечивает беспрецедентное разрешение (до 1,5 нм), контрастность и яркость изображений.
Конструкция колонны обеспечивает превосходное изображение и стабильность при низком напряжении. Может работать как в режиме высокого, так и в режиме переменного вакуума, давая изображение проводящих и непроводящих образцов с высоким разрешением.
На новом электронном микроскопе ΣIGMA можно исследовать образцы диаметром до 250 мм и длиной до 145 мм. Кроме того, сопланарное размещение портов камеры микроскопа обеспечивает идеальную геометрию для одновременной работы энергодисперсионного спектрометра (EDS) и детектора дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD). Это обеспечивает одновременный сбор данных от двух систем.
Модель ΣIGMA HD обеспечивает дальнейшее увеличение разрешения до 1,0 нм, а также возможность более быстрого и точного энергодисперсионного анализа благодаря возможности установки двух EDS.
Опционное программное обеспечение для анализа частиц позволяет определять распределение по размерам и по материалам.
Микроскопы SIGMA полностью совместимы с различными приставками ведущих мировых производителей – Oxford Instruments, Gatan Inc. В камере микроскопа можно поместить ультрамикротом 3View® фирмы Gatan Inc., что позволяет непрерывно нарезать образец и анализировать срезы (толщина среза от 5 нм). Это позволяет получить 3D реконструкцию объектов (например, металлических покрытий или биологических объектов, залитых в смолу). При этом благодаря технологии GEMINI обеспечивается качество изображения, сопоставимое с ПЭМ, поле зрения сотни микрон с разрешением 1 нм.
Опционный программный модуль Shuttle & Find позволяет наладить совместную работу электронного и оптического микроскопов. Благодаря полуавтоматической калибровке системы координат можно получить контрастное оптическое изображение, настроить электронный микроскоп на ту же область и использовать его аналитические возможности для того, чтобы получить информацию о структуре и химическом составе образца.
Технические характеристики
| Наименование модели | ΣIGMA ΣIGMA VP |
ΣIGMA HD ΣIGMA HD VP |
| Катод | Катод Шотки с термополевой эмиссией | Катод Шотки с термополевой эмиссией |
| Разрешение при 1 кВ, нм | 2,8 | 1,9 |
| Разрешение при 15 кВ, нм | 1,5 | 1,0 |
| Максимальная скорость сканирования | 100 нс/пиксель | 50 нс/пиксель |
| Ускоряющее напряжение | 0,2-30 кВ | 0,02-30 кВ |
| Ток зонда | 4 пА-20 нА (опционно – 100 нА) | 12 пА-20 нА (опционно – 100 нА) |
| Рабочий вакуум • режим высокого вакуума • режим переменного вакуума (модель VP) |
Наличие 2-133 Па |
Наличие 2-133 Па |
| Детекторы: | ||
| стандартные | Встроенный детектор вторичных электронов | |
| опционные | 1) BSD детектор отраженных электронов 2) ETSE детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли 3) VPSE детектор вторичных электронов для переменного давления 4) AsB детектор селекции обратно рассеянных электронов по углу 5) SCD детектор тока образца 6) STEM детектор проходящих электронов Возможна установка других детекторов |
1) BSD детектор высокого разрешения 2) ETSE детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли 3) VPSE детектор вторичных электронов для переменного давления 4) AsB детектор селекции обратно рассеянных электронов по углу 5) SCD детектор тока образца 6) STEM детектор проходящих электронов 7) Возможность установки двух EDS детекторов Возможна установка других детекторов |
| Рабочая камера | Диаметр 365 мм, высота 270 мм | Диаметр 365 мм, высота 270 мм |
| Столик для образца | Компуцентрический X = 125 мм, Y = 125 мм, Z = 50 мм, наклон -10 - 90º, вращение 360º | Эуцентрический X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3 - 70º, вращение 360º |
| Графика | Разрешение не хуже 3072 на 2304 пикселей | Разрешение не хуже 12288 на 9216 пикселей |
Применения
Геология Микроэлектроника Металлообработка Оборонная и космическая промышленность Биологические науки Медицинские исследования Учебные заведения (ВУЗЫ) Исследовательские институты (НИИ) Криминалистика Реставрационная деятельность
