(812) 325-55-02 info@analit-spb.ru
Генеральный дистрибьютор

Автоэмиссионный СЭМ MERLIN

Описание

Конструкция колонны GEMINI II обеспечивает превосходное изображение и стабильность даже при низком напряжении и при высоком токе зонда. Может работать как в режиме высокого, так и в режиме переменного вакуума, давая изображение проводящих и непроводящих образцов с высоким разрешением (от 0,6 нм).
Сверхстабильный автоэмиссионный катод, обеспечивающий максимальный ток зонда до 300 нА.


Тройная система детектирования:
• встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) – для определения топографии поверхности.
• встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии выхода (EsB) – для определения композиционного контраста.
• детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по углу выхода (AsB) с креплением на объективную линзу – для определения ориентация кристаллов

Система детектирования позволяет получать полную информацию о материале, топографии и кристалличности образца.
Камера образца поставляется с 15 портами для опционных детекторов и ряда других аналитических приложений от съемки до полного анализа.
Система локальной компенсации заряда – полностью автоматизированная система снятия заряда с поверхности ионами азота. Позволяет обойтись без использования специальных низковакуумных детекторов и режимов.
Новое: Очистка поверхности с помощью ионов кислорода


Дополнительные возможности:
Опционный программный модуль Shuttle & Find позволяет наладить совместную работу электронного и оптического микроскопов. Благодаря полуавтоматической калибровке системы координат можно получить контрастное оптическое изображение, настроить электронный микроскоп на ту же область и использовать его аналитические возможности для того, чтобы получить

Технические характеристики

Модель MERLIN Compact MERLIN VP Compact MERLIN
Катод Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час
Тип колонны GEMINI® I GEMINI® I GEMINI® II
Разрешение, нм 0.8 при 15 кВ
1.6 при 1 кВ
0.8 при 30 кВ (в режиме STEM)
0.8 при 15 кВ
1.6 при 1 кВ
0.8 при 30 кВ (в режиме STEM)
0.8 при 15 кВ
1.4 при 1 кВ
0.6 при 30 кВ (в режиме STEM)
3.0 при 20 кВ и 10 нA, WD = 8,5 мм
Ускоряющее напряжение 0,02-30 кВ 0,02-30 кВ 0,02-30 кВ
Ток зонда 5 пА - 100 нА (в зависимости от конфигурации системы) 5 пА - 100 нА (в зависимости от конфигурации системы) 10 пА - 300 нА (в зависимости от конфигурации системы)
Рабочий вакуум
• режим высокого вакуума
• режим переменного вакуума (VP)
Наличие
Нет
Наличие
Наличие
Возможность компенсации заряда с очисткой in-situ
Наличие
Нет
Возможность компенсации заряда с очисткой in-situ
Детекторы:
стандартные Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов;
Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли
Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов;
Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли;
Детектор вторичных электронов для переменного вакуума
Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов;
Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли
опционные Встроенный Duo (вместо стандартного – для получения изображения во вторичных и отраженных электронах)
AsB детектор селекции обратно рассеянных электронов по углу
STEM детектор проходящих электронов
4QBSD – детектор обратно рассеянных электронов 4х секториальный
Возможна установка других детекторов
EsB (дополнительный к стандартному)
AsB детектор
STEM детектор
4QBSD – детектор обратно рассеянных электронов 4х секториальный
Возможна установка других детекторов
Рабочая камера Диаметр 330 мм, высота 270 мм
15 портов для подсоединения различных опций, включая STEM, 4QBSD, EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), EDS, WDS.
CCD-камера с ИК-подсветкой.
Столик для образца Эуцентрический, моторизованный, X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3 - 70º, вращение 360º
Доступны опционные системы позиционирования
Графика Разрешение не хуже 32768 x 24576 пикселей
Большое количество накоплений и режим усреднения

Применения

Геология Микроэлектроника Металлообработка Оборонная и космическая промышленность Биологические науки Медицинские исследования Исследовательские институты (НИИ) Криминалистика Реставрационная деятельность

ПРЕДЛАГАЕМ
ОБОРУДОВАНИЕ В ЛИЗИНГ!Подробности в отделе продаж
(812) 325 4008
БЛИЖАЙШИЕ МЕРОПРИЯТИЯ
Семинар «АНАЛИТ- SHIMADZU» в Нижнем Новгороде
Группа компаний АНАЛИТ приглашает вас принять участие в семинаре “АНАЛИТ- SHIMADZU”.
ТЕКУЩИЕ АКЦИИ
АКЦИЯ! Анализатор влажности Shimadzu MOC63u с поверкой за 99 999 рублей!
АКЦИЯ!  Анализатор влажности Shimadzu MOC63u с поверкой за 99 999 рублей!

Компактный современный анализатор влажности, позволяющий решать большинство задач в сфере исследований и контроля качества.