Автоэмиссионный СЭМ MERLIN (Zeiss, Германия)
Описание
Конструкция колонны GEMINI II обеспечивает превосходное изображение и стабильность даже при низком напряжении и при высоком токе зонда. Может работать как в режиме высокого, так и в режиме переменного вакуума, давая изображение проводящих и непроводящих образцов с высоким разрешением (от 0,6 нм).
Сверхстабильный автоэмиссионный катод, обеспечивающий максимальный ток зонда до 300 нА.
Тройная система детектирования:
• встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) – для определения топографии поверхности.
• встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии выхода (EsB) – для определения композиционного контраста.
• детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по углу выхода (AsB) с креплением на объективную линзу – для определения ориентация кристаллов
Система детектирования позволяет получать полную информацию о материале, топографии и кристалличности образца.
Камера образца поставляется с 15 портами для опционных детекторов и ряда других аналитических приложений от съемки до полного анализа.
Система локальной компенсации заряда – полностью автоматизированная система снятия заряда с поверхности ионами азота. Позволяет обойтись без использования специальных низковакуумных детекторов и режимов.
Новое: Очистка поверхности с помощью ионов кислорода
Дополнительные возможности:
Опционный программный модуль Shuttle & Find позволяет наладить совместную работу электронного и оптического микроскопов. Благодаря полуавтоматической калибровке системы координат можно получить контрастное оптическое изображение, настроить электронный микроскоп на ту же область и использовать его аналитические возможности для того, чтобы получить
Технические характеристики
| Модель | MERLIN Compact | MERLIN VP Compact | MERLIN |
| Катод | Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час | Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час | Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час |
| Тип колонны | GEMINI® I | GEMINI® I | GEMINI® II |
| Разрешение, нм | 0.8 при 15 кВ 1.6 при 1 кВ 0.8 при 30 кВ (в режиме STEM) |
0.8 при 15 кВ 1.6 при 1 кВ 0.8 при 30 кВ (в режиме STEM) |
0.8 при 15 кВ 1.4 при 1 кВ 0.6 при 30 кВ (в режиме STEM) 3.0 при 20 кВ и 10 нA, WD = 8,5 мм |
| Ускоряющее напряжение | 0,02-30 кВ | 0,02-30 кВ | 0,02-30 кВ |
| Ток зонда | 5 пА - 100 нА (в зависимости от конфигурации системы) | 5 пА - 100 нА (в зависимости от конфигурации системы) | 10 пА - 300 нА (в зависимости от конфигурации системы) |
| Рабочий вакуум • режим высокого вакуума • режим переменного вакуума (VP) |
Наличие Нет |
Наличие Наличие Возможность компенсации заряда с очисткой in-situ |
Наличие Нет Возможность компенсации заряда с очисткой in-situ |
| Детекторы: | |||
| стандартные | Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов; Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли |
Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов; Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли; Детектор вторичных электронов для переменного вакуума |
Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов; Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли |
| опционные | Встроенный Duo (вместо стандартного – для получения изображения во вторичных и отраженных электронах) AsB детектор селекции обратно рассеянных электронов по углу STEM детектор проходящих электронов 4QBSD – детектор обратно рассеянных электронов 4х секториальный Возможна установка других детекторов |
EsB (дополнительный к стандартному) AsB детектор STEM детектор 4QBSD – детектор обратно рассеянных электронов 4х секториальный Возможна установка других детекторов |
|
| Рабочая камера | Диаметр 330 мм, высота 270 мм 15 портов для подсоединения различных опций, включая STEM, 4QBSD, EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), EDS, WDS. CCD-камера с ИК-подсветкой. |
||
| Столик для образца | Эуцентрический, моторизованный, X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3 - 70º, вращение 360º Доступны опционные системы позиционирования |
||
| Графика | Разрешение не хуже 32768 x 24576 пикселей Большое количество накоплений и режим усреднения |
||
Применения
Геология Микроэлектроника Металлообработка Оборонная и космическая промышленность Биологические науки Медицинские исследования Исследовательские институты (НИИ) Криминалистика Реставрационная деятельность
